Làm sạch là loại bỏ dầu, gỉ, bụi, v.v. trên phôi bằng các phương pháp hóa học hoặc (và) vật lý để đảm bảo phôi có được độ bám dính của lớp phủ tốt hơn và tiến độ sản xuất suôn sẻ. Làm sạch là một quá trình không thể thiếu trước khi Lớp phủ PVD , và nó cũng là một quá trình trong sản xuất lớp phủ PVD. Nếu có vấn đề trong quá trình vệ sinh, việc sản xuất lớp phủ phải bị đình trệ, quá trình sơn phủ có thể bị gián đoạn, hoặc vấn đề về độ bám dính của lớp phủ có thể khiến khách hàng khiếu nại và bồi thường, đặc biệt khi khả năng kỹ thuật của thiết bị sơn không cao, việc làm sạch vấn đề là dễ xảy ra hơn các rủi ro trên.

Bốn yếu tố ảnh hưởng đến chất lượng làm sạch, đó là: thời gian làm sạch, tác nhân hóa học, tác động cơ học và nhiệt độ dung dịch tẩy rửa. Bốn yếu tố này cũng ảnh hưởng lẫn nhau. Sự suy yếu của một nhân tố có thể nâng cao tác dụng của ba nhân tố còn lại. để bù đắp cho nó, và ngược lại. Trong bốn yếu tố này, việc giảm thiểu thời gian làm sạch cũng là mục tiêu được theo đuổi, có thể nâng cao hiệu quả làm sạch. Rút ngắn thời gian sản xuất và thời gian dẫn.

Các bước và phương pháp làm sạch chính nên bao gồm phun hóa chất, ngâm hóa chất, làm sạch bằng sóng siêu âm, rửa sạch và làm khô.

1) Phun hóa chất

Bình xịt rất hiệu quả để làm sạch, nó có thể loại bỏ hầu hết dầu và chất gây ô nhiễm khỏi phôi. Đặc biệt đối với phôi có lỗ thì càng hiệu quả. Hóa chất phun vào phôi sẽ chảy vào lỗ hoặc hóa chất phun trực tiếp vào lỗ làm xối rửa thành trong của lỗ. Vì vậy, khi vệ sinh và nạp thẻ nhớ để phôi được phun. Ngoài ra, nếu hóa chất phun vào phôi không thể chảy đi ngay sẽ khiến hóa chất tươi không thể tiếp tục làm sạch phôi, không dễ khô ở các bước sấy tiếp theo. Do đó, khi lắp thẻ, hãy đảm bảo rằng nó chảy vào phôi. Thuốc trên đó có thể trôi đi một cách tự nhiên.

2) Ngâm hóa chất và làm sạch bằng sóng siêu âm

Siêu âm là sóng âm thanh có tần số trên 20 kHz nằm ngoài phạm vi thính giác của con người. Sự lan truyền của sóng siêu âm phụ thuộc vào môi trường đàn hồi. Khi nó lan truyền, các hạt trong môi trường đàn hồi dao động, và năng lượng truyền qua môi trường theo phương truyền của sóng siêu âm. Loại sóng này có thể được chia thành sóng dọc và sóng ngang. Trong chất rắn, cả hai đều có thể truyền được, còn trong chất khí và chất lỏng, chỉ có thể truyền được sóng dọc. Siêu âm có thể gây ra rung động hạt và gia tốc của rung động hạt tỷ lệ với bình phương của tần số siêu âm. Do đó, sóng siêu âm có cường độ vài chục kilohertz sẽ tạo ra một lực rất lớn. Khi sóng siêu âm lan truyền mạnh trong chất lỏng, sẽ tạo ra hiện tượng nhiễu âm do các hiệu ứng phi tuyến. Khi bong bóng tạo lỗ hổng đột ngột đóng lại, sóng xung kích có thể tạo ra hàng ngàn áp suất khí quyển xung quanh nó, và tác động trực tiếp và lặp đi lặp lại lên lớp bụi bẩn, một mặt, phá hủy sự hấp phụ của chất bẩn và bề mặt của bộ phận làm sạch, và mặt khác, gây ra lớp bụi bẩn. tách khỏi bề mặt của các bộ phận làm sạch và phân tán chúng vào dung dịch tẩy rửa. Sự rung động của bọt khí cũng có thể chà rửa các bề mặt rắn. Các bọt khí cũng có thể “khoan” vào các khe nứt để làm rung chuyển, làm cho chất bẩn rơi ra. Đối với chất bẩn nhờn, do tạo bọt siêu âm, hai chất lỏng nhanh chóng được phân tán và nhũ hóa tại bề mặt phân cách. Khi các hạt rắn bị bụi bẩn dầu bao bọc và bám vào bề mặt của miếng làm sạch, dầu sẽ bị nhũ hóa và các hạt rắn rơi ra. Trong quá trình rung chuyển, các bọt khí tạo ra sẽ làm cho chất lỏng tự sinh ra một dòng chảy tuần hoàn, đó là dòng chảy âm học. Nó có thể làm cho bề mặt của các bong bóng rung động có gradient vận tốc cao và ứng suất nhớt, đồng thời thúc đẩy sự phá hủy và bong tróc chất bẩn trên bề mặt của các bộ phận làm sạch. Vi tia tốc độ cao tạo ra bởi cavitation siêu âm trên bề mặt chất rắn và chất lỏng có thể loại bỏ hoặc làm suy yếu lớp bụi bẩn ở ranh giới. - Ăn mòn bề mặt rắn, tăng tác dụng khuấy trộn, đẩy nhanh quá trình hòa tan chất bẩn hòa tan, tăng cường hiệu quả tẩy rửa của các chất tẩy rửa hóa học. Ngoài ra, rung động siêu âm gây ra tốc độ rung và gia tốc lớn của các hạt trong dung dịch tẩy rửa, đồng thời làm cho bụi bẩn trên bề mặt các bộ phận tẩy rửa phải chịu tác động thường xuyên và mạnh.

Do sóng siêu âm sẽ tạo ra vùng áp suất thấp và vùng áp suất cao trong quá trình truyền sóng nên hiện tượng xâm thực chỉ xảy ra ở vùng áp suất thấp. Do đó, phôi cần làm sạch cần phải rung lên xuống theo sóng siêu âm, để từng vùng trên phôi đi qua vùng áp suất thấp để thu được hiệu quả làm sạch của một “bàn chải mini”. Tốc độ truyền của sóng siêu âm trong nước là 1500m / s. Giả sử tần số của sóng siêu âm là 30.000Hz thì bước sóng của sóng siêu âm được sử dụng

λ = tốc độ / tần số = 1500/30000 = 0,05m = 5 cm

Do đó, nếu sử dụng sóng siêu âm 30000Hz, khoảng cách dao động của phôi không được nhỏ hơn 5 cm. Đối với các tần số khác của siêu âm. Khoảng cách rung động có thể được tính toán theo cách tương tự. Trong quá trình tẩy rửa ngâm hóa chất đơn thuần, dung dịch tẩy rửa trước tiên sẽ hòa tan các chất ô nhiễm trên bề mặt phôi, sau đó sẽ thấm dần và hòa tan vào lớp ô nhiễm. Trong quá trình này, một lớp bão hòa hòa tan sẽ dần dần hình thành trên bề mặt của phôi. Lớp bão hòa này cách ly dung dịch tẩy rửa hóa chất mới khỏi các chất bẩn sâu, ngăn không cho dung dịch tẩy rửa tiếp tục hòa tan các chất bẩn sâu. Nếu lớp bão hòa này không thể bị phá hủy và loại bỏ, quá trình làm sạch sẽ dừng lại. Đối với phôi tương đối bẩn, rất khó để làm sạch hoàn toàn phôi bằng cách làm sạch bằng cách ngâm thuần túy. Sử dụng "bàn chải siêu nhỏ" của sóng siêu âm, lớp bão hòa hòa tan trên bề mặt có thể bị phá hủy. Tác nhân hóa học mới đến tầng ô nhiễm sâu hơn và tiếp tục hòa tan. Sau đó sóng siêu âm tiếp tục phá hủy lớp bão hòa hòa tan mới hình thành. Bằng cách này, việc làm sạch vẫn tiếp tục. Đi xuống cho đến khi phôi được làm sạch.

3) Rửa sạch

Mục đích của việc tráng là để làm sạch triệt để dung dịch tẩy rửa hoặc các chất bẩn khác còn sót lại trên phôi để phôi sạch hơn trước khi sấy. Các chất cặn bám trên phôi sẽ khó làm sạch sau khi khô. Trong lĩnh vực công nghiệp. Thông thường, nước khử ion được sử dụng để rửa, nước khử ion được sử dụng để rửa thay vì nước máy. Nó có thể tránh các tạp chất và chất ô nhiễm trong nước máy còn sót lại trên phôi. Tuy nhiên, nước khử ion có tính xâm thực cao và có thể ăn mòn phôi. Do đó, một lượng chất ức chế gỉ nhất định phải được thêm vào nước khử ion trước khi nó có thể được sử dụng để rửa phôi. Để tránh cho phôi không bị gỉ trong quá trình rửa và sấy.

4) Sấy khô

Các phôi đã làm sạch thường được làm khô trong tủ sấy, bao gồm thân hộp, đường ống thoát nước, hệ thống sưởi, hệ thống xả và hệ thống kiểm soát nhiệt độ. Nhiệt độ sôi và hóa hơi của nước là 100 ° C, vì vậy nhiệt độ nướng phải lớn hơn 100 ° C, và nên để từ 110 ° C đến 130 ° C để nước nhanh bay hơi và làm khô. Sau khi sấy, nhiệt độ của phôi quá cao và phải mất một thời gian dài để hạ nhiệt.