Thực hiện các yêu cầu bảo vệ môi trường với
công nghệ tiên tiến và giải quyết những thiếu sót của mạ điện nước.
Nguồn gốc của máy sơn chân không ion đa hồ quang
Hiện nay, hầu hết các màng cứng cơ học (đặc biệt là màng dùng cho dụng cụ cắt) trên thế giới đều sử dụng công nghệ lắng đọng hồ quang catốt. Hiệu suất ứng dụng; đặc biệt là vấn đề hạt thiết bị lắng đọng hồ quang catốt sản xuất trong nước là đặc biệt nghiêm trọng. Sự ra đời của công nghệ lọc từ tính trên cơ sở công nghệ này có thể giải quyết được vấn đề các hạt lắng đọng trên bề mặt, nhưng hiệu suất lắng đọng chỉ bằng khoảng 1/10 so với ban đầu, diện tích lắng đọng nhỏ nên chu trình sản xuất là lâu, chi phí chế tạo cao và không thích hợp cho việc sơn phủ hàng loạt. ứng dụng sản xuất. Bề mặt của màng được chuẩn bị bởi công nghệ phún xạ magnetron rất mịn và tinh tế, tốc độ lắng đọng vừa phải, và màng có thể lắng đọng đồng đều trên một diện tích lớn. Tuy nhiên, công nghệ phún xạ magnetron cũng có tỷ lệ ion hóa thấp (thường là 10%) và màng được chế tạo không tốt bằng màng được chế tạo bằng công nghệ hồ quang catốt về độ cứng, độ bền mòn và lực liên kết; lớp phủ phản ứng hóa học được thực hiện. (chẳng hạn như TiN, TiO2), do tốc độ ion hóa thấp và phản ứng kém của các hạt kim loại, khí phản ứng phải được đưa vào quá mức, gây nhiễm độc (phản ứng hóa học) bề mặt mục tiêu của magnetron, gây ra một loạt tuyết lở như sắc. giảm tốc độ bay hơi. Kết quả là, lớp phủ phản ứng phún xạ magnetron không ổn định và không thể kiểm soát được.
Do đó, có máy sơn chân không ion đa chức năng trên thị trường. Thông qua một số lượng lớn các thí nghiệm và ứng dụng công nghiệp, dự án đã đi đến các kết luận sau:
(1) Máy phủ ion đa chức năng được thiết kế với nhiều công nghệ sơn đã thành công và hiệu suất toàn diện của hệ thống sơn đã được thiết lập đang ở vị trí hàng đầu tại Trung Quốc.
(2) Thiết bị có thể chuẩn bị màng giống kim cương và màng nhiều lớp hợp chất nitơ kim loại (hoặc cacbon) với bề mặt mịn và dày, bề mặt mịn và tinh tế, và hiệu suất tuyệt vời ở diện tích lớn và chi phí thấp.
(3) Việc sử dụng lớp chuyển tiếp trung gian nhiều lớp đặc biệt và công nghệ pha tạp làm giảm ứng suất bên trong, cải thiện lực liên kết màng / chất nền và có lợi cho sự phát triển của lớp màng (dày đến 6mm).
(4) Màng DLC đã chuẩn bị có các đặc tính toàn diện tuyệt vời: độ cứng> 20GPa (lên đến 37,25GPa), độ dày có thể điều chỉnh (dày đến 6mm), lực liên kết màng / đế> 50N (lên đến 100N), hệ số ma sát <0,2, bộ phim mượt mà và tinh tế.
(5) Lớp phủ tự bôi trơn đa lớp chịu mài mòn và chịu nhiệt được phát triển ma trận / Cr / CrN / CrTiAlN / CrTiAlCN / CrTiC / DLC có các đặc tính toàn diện tốt: độ cứng lên đến 28,7GPa, độ dày có thể điều chỉnh từ 1-4mm, và màng Lực liên kết cơ sở / lớn hơn 70N và hệ số ma sát nhỏ hơn 0,2.
(6) Màng chống mài mòn và chống ma sát được phát triển đã được áp dụng thành công cho nhiều loại khuôn có độ chính xác cao và các thành phần chính chính xác. Kết quả ứng dụng cho thấy tác dụng tăng cường bề mặt của lớp phim là đáng kể, có thể cải thiện đáng kể chất lượng sản phẩm và tuổi thọ sử dụng.
Mạ ion đa hồ quang giới thiệu các chế độ phóng khí khác nhau vào lĩnh vực lắng đọng hơi trong điều kiện chân không. Toàn bộ quá trình lắng đọng hơi được thực hiện trong quá trình plasma. Nó có thể được phủ không chỉ trên bề mặt của các sản phẩm kim loại, mà còn trên bề mặt của các sản phẩm phi kim loại. Nó có thể được mạ bằng màng kim loại, Titanium nitride, titan cacbua, zirconium nitride, chromium nitride, titan oxit và các loại phim khác.