Các phân loại của máy phủ ion chân không là gì- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

Trong máy sơn chân không được ứng dụng rộng rãi trong đời sống, do không gây ô nhiễm, có ưu điểm tốc độ lắng đọng nhanh, tốc độ ion hóa cao, năng lượng ion lớn, vận hành thiết bị đơn giản, giá thành rẻ,… nên được nhiều doanh nghiệp ưa chuộng, máy hút chân không. Nguyên lý tạo ion của máy phủ là gì? Để tôi giới thiệu với các bạn một cách chi tiết:

Màng được chuẩn bị trong chân không, bao gồm mạ kim loại tinh thể, chất bán dẫn, chất cách điện và các màng nguyên tố hoặc hợp chất khác. Mặc dù sự lắng đọng hơi hóa học cũng sử dụng các phương pháp chân không như giảm áp suất, áp suất thấp hoặc plasma, nhưng lớp phủ chân không thường đề cập đến sự lắng đọng của các màng mỏng bằng phương pháp vật lý. Có ba hình thức phủ chân không, đó là lớp phủ bay hơi, lớp phủ phún xạ và lớp phủ ion.

Mạ ion là sử dụng phóng điện hoặc ion hóa cục bộ các chất bay hơi trong buồng chân không, đồng thời với quá trình bắn phá các ion khí hoặc các phần tử của chất bay hơi, các chất bay hơi hoặc chất phản ứng được lắng đọng trên đế. Mạ ion kết hợp hữu cơ hiện tượng phóng điện phát sáng, công nghệ plasma và bay hơi chân không, không chỉ cải thiện đáng kể chất lượng màng mà còn mở rộng phạm vi ứng dụng của màng mỏng. Ưu điểm của nó là độ bám dính của màng mạnh, độ nhiễu xạ tốt và có nhiều loại vật liệu màng. Có nhiều loại lớp phủ ion, và các phương pháp chữa lành các nguồn bay hơi bao gồm sưởi ấm bằng điện trở, sưởi ấm bằng chùm điện tử, sưởi ấm bằng chùm điện tử plasma, sưởi ấm bằng cảm ứng tần số cao, v.v.

Tuy nhiên, mạ ion đa hồ quang rất khác với mạ ion nói chung. Mạ ion đa hồ quang sử dụng phóng điện hồ quang thay vì phóng điện phát sáng của mạ ion truyền thống để lắng đọng. Nói một cách đơn giản, nguyên tắc của mạ ion đa hồ quang là sử dụng mục tiêu catốt làm nguồn bốc hơi, và thông qua phóng điện hồ quang giữa mục tiêu và vỏ bọc anốt, vật liệu đích được bay hơi, do đó hình thành plasma trong không gian và lắng đọng chất nền.